一、定量分析方法制定應考慮的因素

X射線熒光光譜的定量分析是通過將測得的特征X射線熒光譜強度轉換為濃度，在轉換過程中它受四種因素影響：

①待測元素的濃度；②儀器校正因子；③測得的待測元素X-射線熒光強度，經過背景、譜重疊和死時間校正后，獲得的純強度；④元素間吸收增強效應校正，樣品的物理形態(tài)有關，如試樣的均勻性、厚度、表面結構等。

二、制定定量分析程序的基本步驟

①輸入程序名和通道組名

②程序描述

③樣品標記的識別類

④測量條件的描述

⑤樣品形態(tài)的描述

⑥化合物表的匯編

⑦通道參數(shù)的匯編

⑧自動生成分析測量條件

⑨通道參數(shù)包括：元素名，分析線，晶體，準直器，濾光片，分析角，電壓，電流，PHD條件，漂移監(jiān)控等條件。每個元素必須匯編一個通道。

⑩匯編的智能化：當化合物表匯編完成時，通道參數(shù)立即形成。原則上可用于測量。根據(jù)需要可適當調整。

⑾新通道的加入：需加內標線如RhK或其康普頓散射線和分析線的干擾通道等，用“NewChannel”方式手動加入。選擇分析線及分析角。這種通道僅做強度測量用，不報告分析結果。

⑿通道光學掃描：檢查峰位角，確定背景角，檢索干擾峰，計算峰和背景測量時間。

⒀PHD掃描：確定PHD條件

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